半导体用晶元装置PPS-8200
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- 半导体用晶元装置PPS-8200
- ORC
- PPS-8200
- 日本
- 30个工作日
产品均为日本进口，货期30个工作日，特殊除外
产品详细介绍
| PPS-8200/8300 6,8,12inchウェハ用モデル |
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■ 2.5D,3Dパッケージ | |||
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| ■ 可変レンズNA機構と等倍Dyson光学系 ■ 52x33mmの大面積露光フィールド ■ 最大8フィールドの効率的なレチクルデザイン ■ 周囲のケミカルとレジストアウトガスから光学系をプロテクト ■ 薄ウェハ・TAIKOウェハ・反りウェハなどに柔軟に対応する搬送系 |
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| ■ 露光波長 | |
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| ■ ウェハ裏面マークでのアライメント機能 ■ ウェハ周辺露光/非露光機能 |
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