UV照射装置HMW-615N-4
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- UV照射装置HMW-615N-4
- ORC
- HMW-615N-4
- 日本
- 30个工作日
产品均为日本进口，货期30个工作日，特殊除外
产品详细介绍
| 半導体製造プロセス、液晶基板製造プロセス等微細なパターンを形成する工程において、基板の表面に残る有機物に、UVを照射して有機物汚染を非接触で除去する装置です。基板イダメージを与えずに表面の洗浄と改質が出来ます。 |
 HMW-615N |
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 VUM-3073F |
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| ◆ 特 徴 |
| 1． | 基板にダメージが少なく、有機物を分解する能力の高い独自の低圧ＵＶランプを搭載しています。 |
| 2． | 基板を揺動するモードを利用すると、基板にUV光量が均等に照射されます。 |
| 3． | 基板はあまり加熱されません。 |
| 4． | オゾンをカットする照射方式も、窒素ガスをパージする照射方式も適用できます。 |
| ◆ 仕 様 |
| 型式 | HMW-615N-3 | HMW-615N-4 | VUM-3073F |
| 使用ランプ | 低圧ＵＶランプ VUV-080/A-3.6U･5灯 |
低圧ＵＶランプ VUV-100/A-5.3U･7灯 |
低圧ＵＶランプ VUV-040/A-2.2U･4灯 |
| 照射距離 | 25mm | 25mm | 15mm |
| 照射面積 | 300W X 300D | 400W X 400D | 200W X 200D |
| 照射時間 | 0～10min(可変) | 0～99min59sec(可変) | |
| 排気ｵｿﾞﾝ除去 | オゾン分解用フィルター使用 | ||
| 外形寸法 | 750W X 700DX 1,435H 180kg | 580W X 500DX 240H 25kg | |