【新品上市】半导体用晶元装置PPS-8500
| PPS-8500 415 x 510mm/515 x 510mmに対応するパネル用モデル |
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■ 2.5D,3Dパッケージ | |||
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| ■ 可変レンズNA機構と等倍Dyson光学系 ■ 52x33mmの大面積露光フィールド ■ 最大8フィールドの効率的なレチクルデザイン ■ 周囲のケミカルとレジストアウトガスから光学系をプロテクト ■ 薄ウェハ・TAIKOウェハ・反りウェハなどに柔軟に対応する搬送系 |
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| ■ 露光波長 |