模型	PPS-8200/8300
晶圆尺寸	6/8/12英寸
解决	2.0 µmL/S（2.0 µm 抗蚀剂厚度）
NA（数值孔径）	0.16、0.1 变量
减速比	1:1
场地大小	52毫米×33毫米
曝光波长	ghi-Line gh-line i-line（链接到配方）
标线尺寸	6英寸
叠加精度	≤0.5微米（|平均|+3σ）
设备尺寸/重量	（宽）2,260 x （深）3,460 x （高）2,500 毫米 / 5,500 公斤
主要选项	背面对准系统 晶圆周边曝光系统 晶圆周边非曝光系统 薄晶圆传送系统 GEM 通信兼容 内联兼容